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新聞動(dòng)態(tài)

 
鈦酸鍶鋇特能特點(diǎn)展示
 


     鈦酸鍶鋇材料的特點(diǎn)與應(yīng)用 鈦酸鍶鋇(Ba。Sr
,輔03
,簡(jiǎn)稱BSn材料由于具有漏電流小、不易疲勞
、居里溫度可 調(diào)
、熱釋電系數(shù)高、介電非線性強(qiáng)等眾多優(yōu)點(diǎn)
,被認(rèn)為是在微電子集成器件領(lǐng)域中具有 廣泛應(yīng)用前景的材料【卜51
,可應(yīng)用于高密度動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM),去耦電容器
,移相器
,紅外熱釋電探測(cè)器,壓電微制動(dòng)器等方面


    鈦酸鍶鋇是鈦酸鋇(BaTi03)和鈦酸 鍶(SrTi03)的完全固溶體
,可以通過(guò)改變組分中的Ba/Sr比來(lái)調(diào)節(jié)材料的居里溫度(Tc), 以滿足對(duì)材料某方面特性的追求
。鈦酸鋇和鈦酸鍶的居里溫度分別為120和-163
。當(dāng)材料工作在居里溫度以上時(shí),材料呈順電相
;當(dāng)工作在居里溫度以下時(shí)
,材料呈鐵電相
。 BST是一種典型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料,從結(jié)構(gòu)上可以看成是sP離子部分取代了 BaTi03中的Ba2+離子而形成
。鈣鈦礦型鐵電體是為數(shù)較多的一類鐵電體
,其通式為 AB03。

    鈣鈦礦結(jié)構(gòu)可用簡(jiǎn)立方品格柬描寫
,每個(gè)格點(diǎn)代表圖1-l所示的一個(gè)結(jié)構(gòu)基元
。 鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的一個(gè)結(jié)構(gòu)基元頂角為較大的A離子占據(jù),體心為較小的B離子占據(jù)
,六個(gè)面心則為O離子占據(jù)
。這 些氧離子形成氧八面體,B離子處于其中心
。整個(gè)晶體可看成由氧八面體共頂點(diǎn)聯(lián)結(jié)而 成
,各氧八面體之間的空隙則由A離子占據(jù)。A和B的配位數(shù)分別為12和6
。氧八面 體有3個(gè)四重軸
、4個(gè)三重軸和6個(gè)二重軸。

    鈣鈦礦鐵電體的自發(fā)極化 主要來(lái)源于B離子偏離八面體中心的運(yùn)動(dòng)
。B離子偏離中心的位移通常沿這三個(gè)高對(duì)稱 性方向之一
,故白發(fā)極化也是沿這三個(gè)方向之一。 BaTi03是一種鈣鈦礦鐵電體
。在120以上為順電相
,空間群Pm3m。 圖1.2氧八面體及其二重
、二重和四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸在120發(fā)生順電一鐵電相變
,呈四方相,空間群為P4mm
,自發(fā)極化沿四重軸
。在5 發(fā)生鐵電-鐵電相變,呈正交相
,空『日J群為Amm2
,自發(fā)極化沿二重軸。在.90發(fā)生另 一鐵電.鐵電相變
,空I’日J群為R3m
,自發(fā)極化沿三重軸。BaTi03在3個(gè)鐵電相的晶胞和自發(fā)極化的方向
。在四方相
、正交相和三角相中,自發(fā)極化的主要來(lái)源是 Ti離子偏離中心沿四重軸
、二重軸和三重軸的位移
。在立方相
,Ti離子位于氧八面體的中心,整個(gè)晶體無(wú)自發(fā)極化
。各個(gè)鐵電相都可以認(rèn)為是順電相演變而來(lái)的
。 

    眾所周知
,具有熱釋電性能的鐵電材料眾多
,如BST、PT
、PST
、PLZT等。作為 非致冷紅外熱釋電探測(cè)器應(yīng)用相關(guān)的材料特征主要有: (1)熱釋電材料對(duì)其溫度變化響應(yīng)
,而不是對(duì)溫度本身響應(yīng)
; (2)具有廣譜效應(yīng),因而可用光學(xué)濾波器可設(shè)計(jì)不同工作波長(zhǎng)的探測(cè)器
; (4)材料呈電容性
,熱損小,工作在室溫附近
,無(wú)需致冷
,器件成本低; (5)介質(zhì)本身的熱噪聲是主要熱噪源
; (6)綠色環(huán)保材料
,無(wú)污染。 BST材料能夠在以上方面有相當(dāng)突出的優(yōu)勢(shì)
。 如前所述
,BST材料由于Tc可調(diào),且具有良好的鐵電性
、壓電性
、熱釋電性、電光 及非線性光學(xué)特性等
,可廣泛應(yīng)用于微電子學(xué)
、光電子學(xué)、集成光學(xué)和微電子機(jī)械系統(tǒng) 等領(lǐng)域
,是目前高新技術(shù)研究的前沿和熱點(diǎn)之一
。BST材料可應(yīng)用的領(lǐng)域有:(1)介 質(zhì)移相器【17-201。移相器主要有鐵氧體移相器
、PINZ.極管移相器
、介質(zhì)移相器三大類。 與其他兩類移相器相比
,介質(zhì)移相器具有響應(yīng)速度快
、插入損耗小
、工作溫區(qū)寬、功耗 第一章緒論小
、質(zhì)量輕
、生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)。而BsT材料能在移相器所要求的介電可調(diào)性高和損耗 低這兩個(gè)方面顯示出突出的優(yōu)勢(shì)
。(2)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM)【21221
。動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器 在計(jì)算機(jī)的大量應(yīng)用,是在集成電路的硅平面工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的
。由于BST材料具 有良好的化學(xué)穩(wěn)定性
、熱穩(wěn)定性和絕緣性,而且在高頻(>lOGHz)下具有高介電常數(shù)
, 因而BST材料成為目前制備高密度
、Gbit級(jí)DRAM中電容器介質(zhì)的首選材料。(3)熱釋 電紅外探測(cè)器【23訓(xùn)1
。熱釋電效應(yīng)是指晶體由于溫度變化而產(chǎn)生電極化的現(xiàn)象
,它在工程 技術(shù)領(lǐng)域的主要應(yīng)用是利用熱釋電材料制作熱釋電探測(cè)器和熱釋電攝相管。在這種應(yīng)用 中
,熱釋電敏感元件將熱輻射信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)輸出
。與傳統(tǒng)的紅外探測(cè)器相比,熱釋 電紅外探測(cè)器具有明顯的優(yōu)點(diǎn):能在室溫下工作
,不需要致冷
;具有廣譜效應(yīng)。(4) H2探測(cè)器【42刪
。H2探測(cè)器是最近幾年發(fā)現(xiàn)的新應(yīng)用
。其工作原理是:在H2和空氣環(huán)境 中,Pd/(BaSr)Ti03/Pt電容器的^瞞性發(fā)生改變
。 

 

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